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P63系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台,平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优 化,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有的控制精度,分辨率和稳定 性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电平台体积小、结构紧凑易 于集成。
P63系列压电纳米定位台典型应用
• 显微成像 • 纳米定位
• 生物技术 • 半导体技术
• 质量保证测试 • 微车削
• 原子力显微镜
小体积、高精度、响应速度快
P63系列压电纳米定位台zui重要的特点是超级精密 且体积非常小巧,尺寸仅为30×24×42mm(X轴尺寸 为30×24×21mm),易于集成到任何扫描仪器中。
P63系列纳米定位台是超高精密纳米定位系统,是 为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设 计的,具有超低惯性,响应时间可达0.3ms,可配置 高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。
1-3维平移台P63系列压电纳米定位台,包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多种运动方式可选。超小体积易于集成配套。
应用实例
P63三维纳米定位台已经应用于基于SEM在线纳米切削平台切削力测试实验中
P63系列压电纳米定位台特点:
• 1~3维自由组合
• 位移行程8μm
• zui大承载0.8kg
• 重复定位精度可达纳米级
• 亚毫秒响应时间
技术参数:
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。 |