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产品详情
XP-63系列压电纳米定位台为压电陶瓷直驱X轴运动定位台，内置高可靠性压电陶瓷，采用无摩擦柔性铰链导向机构，具有刚度大、分辨 率高、响应速度快等特点，可以通过自由组合的方式组成二维XY、三维XYZ纳米定位台。
XP-63系列压电纳米定位台典型应用
• 干涉 • 生物技术
• 纳米定位 • 微加工/精密控制
应用实例
采用XP-633压电纳米定位台带动探针作精密位移定位检测控制，从而完成1mN的精确力控制实验。
XP-63系列压电纳米定位台特点：
• 1~3维自由组合
• zui大行程68μm
• zui大承载5kg
• 重复定位精度可达0.05%F.S.
• 亚毫秒响应时间
1-3维平移台
XP-63X系列压电纳米定位台可以通过叠加的方式 组成XY，XZ，XYZ多种运动结构。多种规格型号可选。柔性铰链采用精密线切割技术。
体积小、刚度大、响应速度快、闭环精度高
XP-63X系列压电纳米定位台结构设计，具 有大机械刚度、大承载、更高的空载谐振频率等特 点。负载情况下也具有很高的使用频率，响应时间可 以实现亚毫秒级。例如XP-630带动20g负载，响应时 间仅为5ms。
XP-63X系列产品体积小巧，XP-630一维尺寸仅 为60×45×18mm，易于与其他平台设备集成。
闭环版本配置应变传感器，可实时检测位置信号 并反馈给闭环控制器，控制器通过PID算法对检测到 的位置信号进行修正，从而实现纳米级的精密定位。
XP-63系列压电纳米定位台技术参数：
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | XP-630.XS XP-630.XK | XP-631.XS XP-631.XK | XP-633.XS XP-633.XK |
单位 |
运动自由度 | X | X | X |
| |
标称行程范围（0~120V） | 12 | 24 | 48 | μm±20% | |
zui大行程范围（-20~150V） | 17 | 34 | 68 | μm±20% | |
传感器类型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- |
| |
闭/开环分辨率 | 0.5/0.1 | 1/0.2 | 2/0.3 | nm | |
闭环线性度 | 0.1/- | 0.15/- | 0.15/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | %F.S. | |
俯仰/偏航/滚动 | <20 | <25 | <30 | μrad | |
推/拉力 | 480/80 | 480/80 | 480/80 | N | |
运动方向刚度 | 40 | 20 | 10 | N/μm±20% | |
空载谐振频率 | 3.2 | 2.4 | 1.5 | kHz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 1.5/0.8 | 3/1.6 | 5/3.2 | ms±20% | |
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 200 | 100 | 50 |
Hz±20% |
行程 | 60 | 30 | 15 | ||
zui大承载 | 5 | 5 | 5 | kg | |
静电容量 | 1.8 | 3.6 | 7.2 | μF±20% | |
材质 | 铝 | 铝 | 铝 |
| |
重量 | 150 | 250 | 450 | g±5% | |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
