产品详情
N60系列压电纳米定位台为一维X轴压电平移台,内置高性能压电陶瓷可以实现X轴zui大34μm的位移,优异的机构放大设计原理,X 轴运动直线性好,开环闭环可选,产品体积小巧、结构紧凑、集成度高,是小体积高精度一维精密定位的理想选择。
N60系列压电纳米定位台典型应用
• 光纤定位 • 光学扫描
• 微操作 • 纳米定位
N60系列压电纳米定位台技术参数:
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | N60.X30S N60.X30K |
单位 |
运动自由度 | X |
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标称行程范围(0~120V) | 24 | μm±20% | |
zui大行程范围(-20~150V) | 34 | μm±20% | |
传感器类型 | SGS/- |
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闭/开环分辨率 | 1/0.5 | nm | |
闭环线性度 | 0.5/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.3/- | %F.S. | |
俯仰/偏航/滚动 | <10 | µrad | |
推/拉力 | 8/2 | N | |
运动方向刚度 | 0.6 | N/μm±20% | |
空载谐振频率 | 1.8 | kHz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 10/2 | ms±20% | |
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 100 |
Hz±20% |
行程 | 10 | ||
zui大承载 | 0.5 | kg | |
静电容量 | 0.8 | μF±20% | |
材质 | 铝 |
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重量 | 80 | g±5% |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
N60系列压电纳米定位台特点:
• 一维X轴
• 超小体积
• 位移行程34μm
• 毫秒级响应时间
一维X轴平移台
N60为一维X轴运动平台,台面两个安装螺纹孔,便于安装负载。
高分辨率、高谐振频率、体积小巧
高分辨率 N60配套E53压电控制器,可实现0.5nm的步进分辨率。
N60采用机构放大设计原理,一维X轴运动行程34μm, 体积小巧、结构紧凑,尺寸为28╳28╳12.5mm。。
N60压电纳米定位台采用机构放大设计原理,优异的结构设计,无摩擦无后坐力,具有非常高的分辨率以及良好的 动态性能,空载谐振频率达1800Hz。产品稳定性好、无漂移、使用寿命长,体积小巧,方便与其他系统结构进行集成安装等优异的性能使其适合于光学 显微扫描、精密加工、微操作等应用。