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产品详情
XP-611系列压电纳米定位台为一维X轴或Z轴压电平移台，采用机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷，可实现X轴或Z轴100μm 的位移行程，柔性铰链导向机构无摩擦、无后坐力。可选择闭环版本定位精度高，是一维精密定位与扫描的理想选择。
典型应用
• 显微成像 • 纳米定位
• 生物技术 • 半导体技术
• 精密定位 • 微操作
技术参数
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | XP-611.X100S XP-611.X100K | XP-611.Z100S XP-611.Z100K |
单位 |
运动自由度 | X | Z |
| |
标称行程范围（0~120V） | 80 | 80 | μm±20% | |
zui大行程范围（-20~150V） | 100 | 100 | μm±20% | |
传感器类型 | SGS/- | SGS/- |
| |
闭/开环分辨率 | 7/4 | 7/4 | nm | |
闭环线性度 | 0.2/- | 0.2/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.05/- | 0.05/- | %F.S. | |
俯仰/偏航/滚动 | <15 | <15 | µrad | |
推/拉力 | 30/10 | 30/10 | N | |
运动方向刚度 | 0.3 | 0.3 | N/μm±20% | |
空载谐振频率 | 0.28 | 0.28 | kHz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 10/0.8 | 10/0.8 | ms±20% | |
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 100 | 100 |
Hz±20% |
行程 | 10 | 10 | ||
zui大承载 | 1.2 | 1.2 | kg | |
静电容量 | 1.8 | 1.8 | μF±20% | |
材质 | 钢、铝 | 钢、铝 |
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重量 | 80 | 80 | g±5% | |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
XP-611系列压电纳米定位台特点：
• 一维X轴或Z轴
• 小体积
• 位移行程100μm
• 毫秒级响应速度
• 纳米级定位精度
一维X轴或Z轴平移台
XP-611系列压电纳米定位台，一维X或Z轴精密直线运动。
高精度、高可靠性与*性满足工业应用需求芯明天XP-611系列定位台优异的设计结构，小巧的体积，100μm的行程，内置高可靠性压电陶瓷，装配高精度传感器，定位精度可以达到纳米级，产品*性良好，已经应用于工业精密自动化加工领 域。
体积小巧、稳定时间短、性价比高
XP-611系列压电纳米定位台采用机构放大设计原 理，体积小巧、结构紧凑，XP-611 .X的尺寸仅为 35×35×20mm，易于与其他设备集成安装。
该系列定位台采用机构放大原理，zui大位移可达 100μm，空载谐振频率高、响应速度快，100μm的 阶跃时间为0.8ms，该系列产品以其高可靠性，高性 价比等特点深得工业型用户的青睐。
