供应自动椭圆偏振测厚仪/椭圆偏振测厚仪/测厚仪,其他-仪表网

产品详情

自动椭圆偏振测厚仪/椭圆偏振测厚仪/测厚仪  型号：XB-TPY-2
产品特点：
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。
仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，于不同用户的需要。

规格与主要技术指标：
测量范围：薄膜厚度范围1nm-4000nm     折射率范围：1-10
测量Z小示值：≤1nm                  入射角：20°- 90°精度≤0.05°
度盘刻度：每格1度                    允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器步进角：0.014°/步               偏振器方位角范围：0°- 180°
测量膜厚和折射率重复性精度分别为：0.5nm和0.005
仪器测量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时）
光学中心高度：80mm

成套性：主机、电控系统、USB接口、配套软件（需配计算机）
主机重量：26kg    外形尺寸：680*390*310mm

免责声明：以上所展示的信息由企业自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责，仪表网对此不承担任何保证责任。