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CDG160D/CDG200D-INFICON SKY电容膜片真空计

  • 产地
  • 所在地
  • 瑞士
  • 广东深圳市

更新时间:2024-03-08

有效日期:还剩115

产品详情

INFICON SKY CDG160DCDG200D高温真空计是高精度总压强测量和控制的*选择。为达到优异的半导体和等离子过程要求的性能,将CDG160DCDG200D真空计的温度相应地控制于160度和200度。全量程范围从1乇至1000乇,配有全部常用的法兰型式和Fieldbus接口,和提供线性的010伏与气体类型无关的压强讯号。INFICON电容真空计采用超纯抗腐蚀的氧化铝陶瓷膜片。陶瓷传感器的优点是讯号稳定性好,从大气压恢复快,预热时间短和超长的使用寿命。INFICON CDG是高质量,成本效益好的压强传感器,用于半导体,等离子和各项要求高的真空应用中。

优越性:

  1. CoO(拥有成本),50%快速预热,能效高,功耗低
  2. 易整合于系统中,宽广的全量程范围,法兰和接口,标准型号带有两个设点
  3. 简易的一键操作或遥控讯号调零指令,零点偏离可调
  4. 诊断端口用于快速检修和维护
  5. 两年保用期,真空计使用寿命长,采用加热概念和传感器保护
  6. 由于的讯号稳定性和可重复性,即使在严酷的等离子应用条件下仍可长期使用,无需重新校准
  7. 符合标准:CE,EN,UL,SEMI,RoHS

用途:

  1. 刻蚀,PVD,CVD,LPCVD和其它半导体生产过程
  2. 化学和腐蚀性高温过程
  3. 需要真空计保护的常用薄膜和真空过程

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深圳市科锐诗汀科技有限公司

型:
代理商
联系人:
刘曙东

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商家概况

主营产品:
inficon真空计和检漏仪,LX218检漏仪,myRGA四极质谱仪,SQC160晶控,晶振片,台湾日扬APC蝶阀,Agilent分子泵干泵
公司性质:
代理商

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