光学应用
IC6薄膜镀层控制仪将INFICON薄膜控制仪验证的性能与*的特性结合提供超常的价值,全部设计为您的镀膜过程取得的效果。IC6采用我们的Modelock频率测量系统确保高的稳定性。分辨率和膜厚测量精度,具有工业的速率分辨0.00433A/秒,每1/10秒,光学过程,如反射镀层,带通滤光器和AR镀层得益于高分辨率和可靠性,以及容纳50过程,每过程200膜层的能力。无其它石英晶体控制器有IC6这样的性能,质量和特色,及优异的可重复性。
可靠的过程控制
具有全面特性的IC6易于集成在您的系统中完整的过程控制。IC6有能力同时控制6源的速率和膜厚控制,可为源控制或为速率或膜厚记录12模拟输出。仪器的逻辑和过程控制能力包括100可编程的逻辑语句,20计数器和20定时器,I/O功能提供多至24继电器输出,28TTL输入和14TTL输出。逻辑语句可用于外输入或输出协同;允许IC6执行PLC或其它额外设备的功能,每个逻辑语句可包括多至5个可用Boolean(布尔)逻辑链接功能。
为将过程配方的灵活性,IC6可容纳50个过程,每个过程200个膜层可将过程链接在一起达到zui大10,000个膜层。
仪器的Auto Z功能可自动确定Z-比值,保持膜厚和速率精度,免除用户估值声阻的需要。当不同材料沉积在同一晶体上,在两种或三种材料共镀膜,或当材料的Z-比值未知时,这是尤其重要的。
不费力的过程设置
用彩色TFT LCD显示器和菜单驱动的导航,操作IC6是容易和直观的,为便于查阅。信息显示在一个清楚的高亮度的显示屏上。为高效地编程,软件帮助您手法快速地贯穿软件菜单。
MODELOCK如何工作
验证的INFICON MODELOCK测量系统提供常规的“有源振荡器”系统不可能得到的,精确的晶体频率信息。消除了“模式跳跃”和维持晶体振荡于基频的故障。MODELOCK为谐振于基频连续测试监测晶体,从而免除了常规测量方法中固有的薄弱环节。
常规测量方法沿用石英监测晶体作为振荡电路的有源元件,因而,晶体控制振荡电路这样当晶体在镀膜过程中的电特性改变时,振荡电路变得不稳定和“跳跃”至另一个谐振频率或*故障,导致不正确的膜厚测量值。
比常规方法更强,更精确和更快。MODELOCK连续测试和分析与晶体关联的相频率,晶体不是振荡电路的源部件。MODELOCK测量系统为晶体确定和应用一个精确的频率,防止晶体“跳跃”或运行于非基频上,这个过程每秒执行数千次,将谐振频率确定于0.0035Hz/100毫秒的精度。
优越性
1、 INFICON Modelock技术确保的稳定性,甚至在非常低的速率下也能有zui高的分辨率和膜厚测量精度。
2、 Auto Z由自动确定沉积材料的Z-比值来提高膜厚的精度。
3、 同时多至6个蒸发源的共镀膜。
4、 彩色的TFT LCD显示器使您对整个镀膜进程一目了然。
5、 扫描100毫秒样品的分辨率为+/-0.0035Hz。
6、 USB数据贮存用于截屏,配方贮存和数据记录。
7、 强有力的I/O具有灵活性(用扩展的输入(28)和输出(24继电器,14TTL输出)集成在单个或复杂系统中,和使用逻辑功能(100逻辑语句)
8、 6DAC输出标准,6个用于源控制,速率或膜厚监测的附加选件。
9、 容纳50过程,每过程200膜层,可链接zui大10,000膜层。
10、 多传感谢器取平均值,多至8传感器。
11、 显示速率分辨高至0.001A/秒
12、 4米XIU选件为大型系统提供可使用长的真空内传感器电缆的能力。
13、 以太网通讯选件。
14、 RoHS认证
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