爱德华半导体干泵EPX180L系列维修销售

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新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX180 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。

模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX系列主要特性和优势
1.占地面积小且重量轻 – 作为可用的 最小工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
2.受保护的泵机构 – EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
3.超清洁机构 – 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
4.非常可靠 – EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。
5.运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。

EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。
EPX 系列以极轻、极小的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck® 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。
EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立通信连接。

EPX180L/EPX180LE技术参数：

EPX180L订货号：
EPX180L 干泵 400V，3/8 水接头
A
EPX180L 干泵 208V C3 TIM 9/16 水接头
A
EPX180L 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接头
A
EPX180L 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接头
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EPX180L 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接头
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EPX180L 干泵 400V E73 TIM 3/8 水接头
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EPX180L 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接头
A
EPX180L 干泵 400V LAM TIM 3/8 水接头
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EPX180L 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接头
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EPX180L 干式泵 200V
A
EPX180L 干式泵 200V，3/8 水接头
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EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接头
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EPX180L 干式泵 400V 1/4 水接头
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EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接头
A
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接头
A
EPX180L 干式泵 400V SPI TIM 3/8 水接头
A

EPX180LE系列订货号：

EPX180LE 干泵 208V 无 TIM 3/8 水接头
A4194301
EPX180LE 干泵 400V 无 TIM 3/8 水接头
A
EPX180LE 干泵 208V 无 TIM 1/4 水接头
A
EPX180LE 干泵 400V 无 TIM 1/4 水接头
A
EPX180LE 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接头
A
EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接头
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EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接头
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EPX180LE 干泵 400V SPI TIM 1/4 水接头
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EPX180LE 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接头
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EPX180LE 干泵 208V Hitachi TIM 3/8 水接头
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EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接头
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EPX180LE 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接头
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EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 1/4 水接头
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EPX180“N”系列包括一个可提供氮清洗的气体模块，从而可将应用范围扩大为中等制程，在这类制程中预期存在的腐蚀性蒸汽和微粒的程度较低。
订货号：
EPX180N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接头
A
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接头
A
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接头
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EPX180N 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接头
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EPX180N 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接头
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EPX180N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接头
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EPX180N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接头
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EPX180N 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接头
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EPX180N 干式泵 400V，3/8 水接头
A

爱德华真空泵由于产品的多样化，所以每一个型号都有着很大的系列，不同的系列应用在不同的行业有着非常明显的效果，因此，在购买爱德华真空泵产品是需要谨慎选项，欢迎有任何爱德华真空泵需求的客户。