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安捷伦分子泵在高真空和超高真空应用中的几点优势
1. 陶瓷轴承,脂润滑,无需维护,两个轴承都在排气口端,确保了清洁的真空环境。( 这对超高真空的应用来说非常重要) ,无磁轴承,轴承对转子的固定作用强,可以承受一定的外界机械冲击。( 这对移动式的真空机组尤为重要)
360度任意角度安装,长寿命,平均运行时间长达12000小时。
2. 转子叶片一次加工完成,不仅自重轻,而且大大减小了叶片内的应力。因此机械强度高,转子寿命长
3. 拥有技术的MacroTorr拖动级,使得瓦里安分子泵对气体,特别是小分子气体,有很高的压缩比
分子泵对不同的气体的抽速和压缩比是有显著不同的。压缩比描述的是分子泵对特定气体的压缩能力。在分子泵的排气口压力保持不变的情况下,对压缩比比较大的分子泵来说,气体分子由排气口返流回进气口的量较小,反之,则返流较大。
美国安捷伦Agilent TV81M就是意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵,又称为Varian TV81-M分子泵,其与瓦里安的同门兄弟Varian Turbo-V 81-T,都是varian TV81系列,转速都是80000,DN63口径时,抽速都是77L/s,启动时间都是60秒,分子泵电源可以相互通用,他们差别在哪里,很多人不清楚。其实意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M要比美国安捷伦Agilent TV81M好很多,其内部设计的不同,设计更为紧凑合理,在压缩气体的方面要优跃于安捷伦的产品。
在分子泵刚刚开始工作的阶段,由于有大量的气体由进气口被抽到排气口,所以这种返流对实际抽速带来的影响不是很大,而随着进气口压力的下降,分子泵抽下来的气体量在减少,这时,气体返流对抽速的影响也就大起来了。这就是分子泵对小分子气体,特别是氢气的抽气能力较差的原因。
对于高真空/超高真空系统,当系统内的压力低于10-6毫巴以后,系统内氢气占的比例越来越大,而此时氢气的返流也越来越明显,因此此时分子泵的有效抽速已经与产品说明书给出的参数相差很大了。分子泵对氢气的压缩比越大,分子泵对氢气的实际有效抽速就越大;反之,则实际有效抽速已经所剩无几。
简单的讲,Varian Turbo-V 81-M比Varian Turbo-V 81-T高级一些,从“身高”来看就高一些,分子泵抽气压缩比要高出不少,根本原因是其转子设计不同,Varian Turbo-V 81-M的涡轮转子多了几层导流环,详情请见对比的图片
意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵对应的订货号如下:
Turbo-V 81-M pump with ISO 63 inlet flange Part No. 9698901:
在原子力显微镜中,瓦里安也有的优势,配合其缓冲器,分子泵顶部震动可以小于磁悬浮分子泵,能提供更清晰更稳定的图像。
Varian 分子泵采用 Varian Macro Torr技术,Macro Toree是目前世界上蕞有效的涡轮级设计技术。
涡轮转子都用单块铝合金整体加工而成, 重量蕞小化, 分子泵可以在360度范围内以任意角度工作而无需任何调整?
整体化设计降低了作用在材料和轴承上的压力,可靠性。
免维护的陶瓷轴承, 无油,无污染, 平均时间大大增加
安捷伦分子泵和意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵备件对应的订货号如下Pump Accessories
Mains cable NEMA plug, 3 m long 0.5 (1.0) 9699958
Mains cable European plug, 3 m long 0.5 (1.0) 9699957
Serial cable and T-Plus Software 0.5 (1.0) 9699883
Inlet screen, KF 40 0.5 (1.0) 9699309
Inlet screen, CF 4 1?2” – ISO 63 0.5 (1.0) 9699300
Inlet screen, CF 2 3?4” 0.5 (1.0) 9699328
Heater band 220 V 1.0 (2.2) 9699801
Heater band 120 V 1.0 (2.2) 9699802
Metallic water cooling kit 0.5 (1.0) 9699823
Plastic water cooling kit 0.5 (1.0) 9699824
Air cooling kit (0.5 m cable) 2.2 (5.0) 9699290
Air cooling kit extension cable (5 m) 2.2 (5.0) 9699940
Pump extension cable 2.2 (5.0) 9699942
Vibration damper DN 63 0.5 (1.0) 9699375
Vibration damper CFF 4.5″ 0.5 (1.0) 9699376
Vent flange KF 10 0.5 (1.0) 9699108
Active Gauges Ask Varian for details
安捷伦分子和意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵建议使用的前极真空泵:Recommended Forepump
Mechanical pump DS 42 11.0 (24.0) 9499309
Mechanical pump DS 102 22.0 (48.0) 9499315
Dry scroll SH 110 19.0 (43.0) SH01101 UNIV
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