SJ6000系列激光干涉仪

一.SJ6000系列激光干涉仪功能特点

1. 测量精度高：以激光干涉技术为核心，分辨率可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。
2. SJ6000激光干涉仪具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并且可满足回转轴分度精度的测量。
3. 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。
4. 具有动态测量（位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线）及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。
5. 内置各种类国标（GB）、ISO（）、BS（英制）、美标、DIN（德标）、JIS（日标）等机床检验标准。可依据各种机床标准分析处理数据，并根据测量结果可打印相应的曲线图和数据报告。
6. 可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。
7. 测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel、AutoCAD（选配）文档。
8. 安装方便：基本重量为15kg，简单便携。

二.SJ6000系列激光干涉仪技术参数

• 稳频精度：0.05ppm
• 线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃
• 线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）
• 角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
• 测量分辨力：1nm
• 动态采集频率：50KHz
• 预热时间：≤6分钟
• 工作温度范围：（0-40）℃
• 环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%

三.SJ6000激光干涉仪使用注意事项

1.仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。

2、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。

3、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。

4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学的方法进行清洁。

5、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。

6、在使用时应避免强旋、硬扳等情况，合理恰当的调整部件。

7、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆，保持其不失油。

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