Brooks质量流量计

• 流量响应时间（完成时间）<0.75 s
• 创新型 MEMS 传感器和*的 PID 算法
• 尺寸小巧，不足常规热式MFC的 一半：1'' x 3''x 4'' (25 mm x 76 mm x 101 mm)
• 本地操作界面 (LOI) 选项可简化设置和操作；免费提供 LabVIEW VI 下载以进行设备监测和调零
• 通过 RS-232 实现数字化功能

优势

• 非常适用于各种常见的无腐蚀性气体
• 响应速度快，可在切换工艺配方时确保各步骤的迅速完成
• 非常适用于各 OEM：尺寸小巧，可轻松集成至紧凑的设备空间内并有助于加快安装
• 可选本地操作界面 (LOI) 是本地指示、设定值控制和设备配置的一站式解决方案；无需借助远程二次仪表
• 拥有多种通信方式，可轻松满足用户需求

应用

• 热处理、切割/焊接等其他热式工艺
• 太阳能/薄膜物理气相沉积 (PVD) 系统
• 用于测量和控制反应物、校准和样品气体流量的分析设备