ATA-2000系列mems光栅应用测试

ATA-2000系列mems光栅应用测试MEMS光栅应用测试：

MEMS光栅采用了硅微加工工艺技术，在外力作用下使光栅的某些特征参数（如周期、光栅等常数）发生改变，从而实时改变光栅的工作性能，实现光栅的可编程应用。基于其*的优势，MEMS光栅已经用于光通信、高清显示设备、光谱分析等领域。MEMS光栅具有多种驱动方式，而静电驱动的 MEMS光栅， 由于其工艺易于实现、耗能低、频率响应高，因此是的驱动方式。的光栅光阀（GLV）和气体探测器（Polychromix） 都是采用静电驱动的。 静电驱动的可编程光栅还存在某些不足。静电驱动的能量密度较小，当结构需要比较大的工作 位移（微米级），就必须增大驱动电压，驱动电压甚 至达到上百伏。当结构受静电力作用，由于机械结构*的惯性而产生弹性振荡，增大系统延迟。实际工作时，光栅等效电容会随光栅梁位移的改变而变化，导致驱动电路容性负载的变化。这些都为设计驱动电路带来困难。 因此，MEMS光栅的工作性能很大程度上依赖于高压放大器的性能。

MEMS测试功率放大器：

西安安泰电子科技有限公司生产的系列高压放大器提供了DC-1.5MHz的带宽，170Vpp~1600Vpp的输出电压范围，40mA~500mA的电流输出能力，是新型的MEMS相关应用的动态驱动研发测试的理想选择。

ATA-2000系列mems光栅应用测试高压放大器，可以输出理想的单端及差分信号，为MEMS领域的研究提供了快捷的工具。同时该系列功率放大器，设计了良好的过压，过流，短路保护装置，同时为了更好的为MEMS测试客户应用，提供的完善的阻抗匹配网络，方便用户选择对应的匹配阻抗。
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