产品详情
简单升级老化的热式流量控制器
艾里卡特MCE或MCV系列真空气体质量流量控制器是真空设备。MCE系列产品的特征如下:与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快,外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准气体质量流量控制器实现端对端的匹配连接。
MCV和MCE联系紧密,采用内置气动截止阀,适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上,防止在设定点为零时出现污染情况。
更多产品信息请查看质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。
性能
工作条件
MCE或MCV系列包装清单:
配件(需另行订购)