BASIS系列OEM气体质量流量控制器

OEM应用中的基础流量控制

对于大数额订单，能为用户提供可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为原始设备制造商（OEM）无应力设备集成而设计的BASIS轻便灵巧、内置高精度MEMS传感器、并具有艾里卡特*的快速阀门控制。

• 可靠。绝不会让您感到失望，NIST可溯源的精度与重复性使其在工作第700天时仍像天一样。
• 灵敏。您不会再因为压力峰值而毁了一整天。具有业内的控制速度和阀门调节，能带给用户的益处将远远超出预期。
• 兼容。BASIS系列OEM气体质量流量控制器应用范围相当广，轻便灵巧、多气体标定、模拟及数字双重通讯将为您的项目设计提供更大的灵活性。

更多产品信息请查看质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。

• Specs
• 定制
• 零件编号
• Applications

性能

• 可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（参见零件编号标签）
• 可调比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
• 校准精度（NIST可溯源）：±（1.5%读数+0.5%满量程）
• 可重复性：0.5%满量程
• 标准控制器响应时间常数：100ms（可利用PID调节功能调节）
• 预热时间：70ms，达到完整精度

工作条件

• 兼容气体：空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮（可通过串行连接选择气体）；订购时还可以选择氦气或氢气校准（仅使用一种气体）
• 工作温度：0°C至+50°C
• 大内部压力（静态）：对于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；对于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
• 耐受压力：175 psig（190 psia）
• STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）

包装清单

• BASIS系列OEM气体质量流量控制器（电源需另行订购）
• NIST可溯源校准证书
• 艾里卡特操作说明书

配件（需另行订购）

• 过程端口接头和过滤器
• 通讯线缆
• Flow Vision软件