aixACCT双光束激光干涉仪

天津瑞利光电科技有限公司优势经销德国aixACCT双光束激光干涉仪

 aixACCT双光束激光干涉仪

相关产品介绍：

双光束激光干涉仪

aixACCT Systems已将*的双光束技术扩展到可商用的双光束激光干涉仪系统，以进行长达8英寸的晶圆表征。

用于测量d 33的双光束激光干涉仪（aixDBLI）提供经过验证的精度（x切割石英），max可达0.2 pm / V。该系统的主要特点是单次测量的采集时间仅为几秒钟。基于新的数据采集算法，测量速度提高了100倍。这使得 比较了以相同激发频率记录的薄膜的电气和机械数据。由于差分测量原理，消除了样品弯曲的影响，这是使用原子力显微镜（AFM）进行此类测量的主要障碍。

技术数据:

-解析度:1 pm经过x-cut Quartz测试

-位移/应变测量:50 Hz-5 kHz

               100 mV至10 V 

 至25 V（可选）

-压电d 33系数：

偏压  ：（1 mHz至1 Hz）

         100 mV至10 V 

         至25 V（可选）

小信号：（1 kHz至10 kHz）

          100 mV至10 V

-电致伸缩M 33：类似于d 33

-C（V）测量:

偏压  ：（1 mHz至1 Hz）

          100 mV至10 V 

          至25 V（可选）

小信号：（1 kHz至10 kHz）

          100 mV至10 V

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