产品详情
耐压等级:150PSI-6000PSI(10-414Bar)
连接方式:LOK、VCR、焊接、法兰等方式可选
连接尺寸: 1/8" 1/4" 3/8" 1/2" 3/4" 1"等可选
控制信号:0-5V/4-20MA可选
精度:±0.5%-±5%等可选
电源:±15V、0-24V等可选
控制量程:5Sccm-3000SLPM可选
通讯形式:模拟行、数字型可选
服务内容:产品的销售、、安装调试、维修清洗、参数标定。
服务品牌:Brooks、MKS、Sevenstar、Horiba、Bronkhorst、LINE-TECH、INHA(研发品牌)等
研发品牌INHA气体质量流量计(6大优势)
Model | M3300V | M3300A |
流量范围(N2) | 100slpm ~ 300slpm | 100slpm ~ 300slpm |
响应时间 | <2 sec | <2 sec |
精准度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
重复精度 | ±0.25% FS | ±0.25% FS |
输入/输出信号 | 0~5 Vdc | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
供电电源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
耐压 | <15 bar | <15 bar |
工作环境温度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
使用范围 | 2 ~ | 2~ |