供应


仪表网供应网 实验仪器 检测仪器 其他检测仪上海伯东代理美国射频离子源 RFICP 140

上海伯东代理美国射频离子源 RFICP 140

  • 产地
  • 所在地
  • 美国
  • 国外国外

更新时间:2023-01-10

有效日期:已过期

产品详情

价格电议

KRI 射频离子源 RFICP 140
上海伯东代理美国* KRI 射频离子源 RFICP 140 是一款紧凑的有栅极离子源,非常适用于离子束溅射沉积, 离子辅助沉积和离子束刻蚀. 在离子束溅射工艺中,离子源 RFICP 140 配有离子光学元件, 可以很好的控制离子束去溅射靶材, 实现更佳的薄膜特性. 同样的在离子束辅助沉积和离子束刻蚀工艺中, 离子光学元件能够完成发散和聚集离子束的任务. 就标准的型号而言, 可以在离子能量为 100~1000 eV 范围内获得很高的离子密度.

KRI 射频离子源 RFICP 140 技术参数:

型号

RFICP 140 / RFICP 140L

供电

RF 射频感应耦合

- 阴极灯丝

-

- 射频功率

1 KW

电子束

OptiBeam™

- 栅极


-栅极直径

14 cm

中和器

LFN 2000

电源控制

RFICP 1510-2-10-LFNA

配置

-

- 阴极中和器

LFN2000 or MHC1000 or RFN

- 安装

移动或快速法兰

- 高度

9.8'

- 直径

9.8'

- 离子束

聚焦
平行
散设

-加工材料

金属
电介质
半导体

-工艺气体

惰性
活性
混合

-安装距离

8-36”

- 自动控制

控制4种气体

KRI 考夫曼离子源 RFICP 140 应用领域:
预清洗
表面改性
辅助镀膜(光学镀膜)IBAD,
溅镀和蒸发镀膜 PC
离子溅射沉积和多层结构 IBSD
离子蚀刻 IBE
射频离子源 RFICP 140
射频离子源 RFICP 140
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源 Gridded 和霍尔离子源 Gridless. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射沉积 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源 (离子枪) 中国总代理.


若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               中国台湾伯东 : 王小姐



免责声明:以上所展示的信息由企业自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责,仪表网对此不承担任何保证责任。

在线询价

伯东企业(上海)有限公司

联系我时,请说明是在仪表网上看到的,谢谢

商家概况

主营产品:
质谱仪,氦质谱检漏仪,分子泵,真空计
公司性质:
代理商

该商家其它产品

射频离子源RFICP380溅射制备微晶硅薄膜

射频离子源RFICP3...

摘要:硅薄膜作为薄膜太阳能电池 [详细]
考夫曼射频离子源溅射沉积立方氮化硼薄膜

考夫曼射频离子源...

摘要:立方氮化硼(cBN)由于具有 [详细]
KRi 射频离子源应用于IBE 离子束蚀刻系统

KRi 射频离子源应...

摘要:上海伯东美国KRi考夫曼公司 [详细]
KRi 离子源电子束蒸发系统辅助镀膜应用

KRi 离子源电子束...

摘要:上海伯东美国KRi考夫曼离子 [详细]
KRi 射频离子源 IBSD 离子束溅射沉积应用

KRi 射频离子源 I...

摘要:上海伯东美国KRi考夫曼品牌 [详细]

其它商家同类产品


高级服务



媒体平台

更多>

新浪微博行业头条商务合作媒体合作建议反馈


新手指南
了解仪表网卖家注册买家注册操作指南手机版仪表网
旗下子站
流量仪表温度仪表压力仪表液位仪表气体检测工控仪表
站点导航
找资讯找企业找产品找展会找品牌
本站服务
会员服务企业建站广告服务SEO优化兴旺通在线投诉