艾里卡特 MCE系列真空气体质量流量控制器

MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器
美国艾里卡特科技有限公司(Alicat Scientific Inc.) 于1991 年在美国成立，是杰出的质量流量和压力解决方案厂商，隶属于英国豪迈(Halma)集团环境与分析事业部，荣膺“年度子公司奖”、“业务拓展增长奖”和“豪迈创新奖”。
Alicat产品采用层流差压式原理，拥有LFE技术，凭借航天级水准，长期支持美国*(NASA)、SpaceX火箭项目，并为科研及工业领域提供快捷、稳定的技术解决方案。
产品类型：气体或液体质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。
客户行业：实验科研、环境保护、生物医药、过程控制、能源化工、半导体以及相关的公共事业。
应用领域：计量检测、泄漏测试、生物发酵、燃烧控制、真空镀膜、光伏、燃料电池等。
简单升级老化的热式流量控制器
艾里卡特MCE或MCV系列真空气体质量流量控制器是真空设备。MCE系列产品的特征如下：与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快，外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准MFC实现端对端的匹配连接。
MCV和MCE联系紧密，采用内置气动截止阀，适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上，防止在设定点为零时出现污染情况。

• 多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
• 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
• 耐用。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。

反应溅射气体流量控制

以50ms控制响应速度精确控制真空室内反应气体的分压以避免靶件喷涂过度，良好的分辨率保证了适当的原子释放，气动截止阀确保无流量时的正向切断。
升级您老旧的热式质量流量控制器只是我们艾里卡特简化真空镀膜所用的一种方式。
更多产品信息请查看质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。
性能

• 可用量程：大0-20 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）
• 可调比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
• 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
• 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
• 可重复性：0.2%满量程
• 标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
• 气动阀漏气率（仅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（大值，氦气）
• 无需预热时间

工作条件

• 兼容气体：98种（MCE/MCV系列）或130种（MCES/MCVS系列）预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
• 工作温度：-10°C至+60°C
• 大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
• 耐受压力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
• MCE或MCV系列包装清单：
• MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器（电源需另行订购）
• NIST可溯源校准证书
• 艾里卡特操作说明书

配件（需另行订购）

• 过程端口接头和过滤器
• 电源
• 通讯线缆和转换线缆
• BB3和BB9多点式集线盒
• Flow Vision软件

型号变体

• 阀门内置（确保与SEMI端口长度*）型号（MCE系列）
• 阀门内置并加装气动截止阀的型号，适合真空应用（MCV系列）
• 腐蚀性气体型号（MCS系列，见下文）

另有：

• 阀门安装在外部的标准配置型号(MC系列)

阀门选项
您可以为您的质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持性能。

• MCE系列—选配外部安装的小型比例控制阀
• MCV系列—选配内部安装的小型比例控制阀以及外部下游安装的气动截止阀
• 腐蚀性气体（MCES和MCVS系列）

MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCES和MCVS系列）可供选择。在该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。
结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO配件）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 集成式电位计控制
• 高精度或自定义校准