P84.X 一维X轴 110μm-P84.X一维X轴压电宏微复合台

型号

P84.X100S

P84.X100K

单位

运动自由度

X

X

行程范围

13mm+110µm

13mm+110µm

粗调+精调

平直度

<3

<3

µm/13mm

重量

400

400

g±5%

壳体材料

钢、铝

钢、铝

外形尺寸（长×宽×高）

140×90×23

140×90×23

mm×mm×mm

手动调节部分-千分尺

粗调行程范围

13

13

mm

粗调分辨率（千分尺）

10

10

µm

导轨

交叉滚柱导轨

交叉滚柱导轨

驱动方式

螺纹副（分厘卡）

螺纹副（分厘卡）

千分尺灵敏度

<2

<2

µm

台面尺寸

65×65

65×65

mm×mm

千分尺读数

10

10

（微米/格）

千分尺螺距

0.5

0.5

mm/rev.

压电驱动精调部分-压电驱动

精调行程范围

0~120 V，Nominal

80

80

µm±20%

-20~150 V，Max

110

110

µm±20%

传感器类型

SGS

-

步进/分辨率

7

2.5

nm, typ.

闭环线性度(压电驱动)

0.1

-

%F.S.

重复定位精度

0.05

-

%F.S.

运动方向推力

16

16

N

刚度

1

1

N/µm±20%

承载能力（Z向）*

500

500

g

工作温度范围**

-20~80

-20~80

°C

静电容量

1.8

1.8

µF±20%

出线长

1.5

1.5

m±10mm

传感/电压连接器

LEMO

LEMO