产品详情
IT.X/Z电容式压电纳米定位台采用电容传感器作为闭环反馈,分辨率可达皮米级。行程zui大可达1mm,满行程定位精度可达 2.5nm,多种规格型号可选,满足不同应用的需求。
IT.X/Z电容式压电纳米定位台应用:
• 精密定位 • 生物显微 • 光学显微成像 • 细胞穿透
IT.X/Z电容式压电纳米定位台技术参数
型号 | IT.X25 | IT.X50 | IT.X100 | IT.X500ST | IT.X500AL | IT.Z100B | IT.Z1000 | 单位 |
运动自由度 | X | X | X | X | X | Z | Z |
|
运动范围(0~150V) | 25 | 50 | 100 | 490 | 470 | 125 | 1000 | μm±20% |
传感形式 | 高分辨率电容传感器 | |||||||
分辨率 | 12 | 19 | 19 | 1200 | 1200 | 20 | 400 | pm |
线性度 | 0.005 | 0.005 | 0.005 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.001 | %F.S. |
响应频率 | 1500 | 360 | 360 | 400 | 500 | 900 | 500 | Hz |
zui大负载 | 5 | 5 | 5 | 2 | 2 | 10 | 1 | kg |
台体重量 | 196 | 261 | 261 | 2000 | 2000 | 660 | 1000 | g |
IT.X/Z电容式压电纳米定位台特性:
• 纳米级精度
• zui大行程1mm
• 电容传感
• 电容式闭环控制
• 皮米级分辨率
哈尔滨芯明天科技有限公司是专业从事微运动器(压电陶瓷)和微运动控制器(压电陶瓷控制器)产品的开发、生产、销售及服务的高科技企业,我们的微运动器和微运动控制器产品是推动微制造、微工业、微军事、微生物、微医疗、微光学等微观领域发展的核心技术,是了解和操纵微观世界的机器心脏。
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