采用压电陶瓷驱动,纳米定位,聚焦扫描器║P21系列

纳米级物镜定位器║P21系列

行程：Z560μm

P21系列是采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台，扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，聚焦行程可达560微米，平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了平台具有的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。扫描台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。分立的螺纹转接器，可适配多种型号的物镜。

产品特点：

◆ 外形尺寸：52x65x52.5mm，结构紧凑，易于集成，灵活的螺纹转接器，zui大螺纹接口M32；

◆ 行程为560µm，分辨率为14nm；

◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统，快速响应；

◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。

产品应用：

三维成像技术　•　筛选　•　干涉　•　计量　•　磁盘驱动器测试　•　自动对焦系统　•　共聚焦显微镜　•　半导体测试　•　生物技术

       辽宁研生科技有限公司的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，运动行程从几微米至几千微米，承载能力从几百克至几百千克，推/拉力从几牛顿至几千牛顿，具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。