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LDX-HZ-DHFC-1-薄膜测试仪/功能薄膜特性测试仪

  • 产地
  • 所在地
  • 山东
  • 山东济宁市

更新时间:2023-08-29

有效日期:已过期

产品详情

薄膜测试仪/功能薄膜特性测试仪

型号:LDX-HZ-DHFC-1

仪器由四探针测试仪和薄膜电导率测量仪两部分组成。具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、测量范围宽、结构紧凑、使用方便等特点。仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能的测试。

四探针测试仪由主机、测试架等部分组成。可以测量片状、块状半导体材料的径向和轴向电阻率,测量扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)、功能材料暗电导和光电导及温度的变化的特性,还可以对金属导体的低、中值电阻进行测量。测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成,故定位准确、游移率小、寿命长。

薄膜电导率测量仪由样品室、温控系统、真空系统、高阻测量系统等部分组成。

◆ 测量范围:电阻测量范围:1×106~1×1017Ω;

电阻率:0.001~200Ωcm;

电导率:0.005~1000s/cm;

◆ 可测晶片直径: 200mmX200mm;

◆ 探针:碳化钨或高速钢;探针间距:1±0.01mm;

◆ 针间绝缘电阻:≥1000MΩ;
机械游移率:≤0.3%;

◆ 本底真空度:≤10Pa,气压可控范围:10~400Pa;

◆ 衬底加热 温度:室温~200℃。

 

山东利达信仪器仪表设备有限公司


  
: 3313351303
地址:山东省济宁市任城区共青团路43号
:周娜


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商家概况

主营产品:
四探针电阻率检测仪,气象站,数显倾角仪,水产养殖分析仪,多种气体分析仪,导热系数测试仪,激光功率计,电化学工作站,紫外辐照计,数显恒温加热板,氮吹仪,化学试剂沸点测定仪,水平电泳仪等等
公司性质:
生产厂家

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